水流的侧蚀加宽了河道使得流速变慢，河流携带的沉积物就在河床发生沉积，在水底堆积满一层沉积物。后来由于气候变化、地壳抬升或者侵蚀基准面下降等因素使得水流的下切侵蚀力剧增，这层堆积物被水流切开形成阶地坡。水流继续往下侵蚀，两侧的堆积物就完全露出水面，高过洪水位，形成阶地面。然后河流继续重复侧蚀、堆积、下切侵蚀等过程，形成下一个阶地。（侵蚀基准面是河流下切侵蚀到最低点的水平面，一般以海平面为主，局部地区以湖泊、河流汇水口、堤坝等基面为准。）
地壳抬升会对河流阶地的形成产生两方面影响：一是让已经发育的阶地面高出洪水位，成为新的河流阶地；二是使河流下切侵蚀作用加剧，制造出阶地坡，让阶地高度上升，也通过堆积作用促进新的阶地面发育。
